本書針對MEMS微電源技術(shù)發(fā)展的需求以及存在的科學(xué)與技術(shù)問題，在綜合分析MEMS微型環(huán)境動(dòng)能能量收集器技術(shù)的國際最新科研成果與發(fā)展趨勢的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)介紹基于環(huán)境動(dòng)能能量獲取與轉(zhuǎn)換的微能源器件與系統(tǒng)的機(jī)理、結(jié)構(gòu)、設(shè)計(jì)理論與方法，功能薄膜的制備與三維微加工工藝的兼容制造工藝方法和性能測試方法。