聲表面波材料與器件系統(tǒng)地介紹了聲表面波壓電與叉指換能器材料、各種聲表面波器件設(shè)計(jì)及其制備工藝。全書(shū)共6章。第1章介紹聲表面波技術(shù)的原理與發(fā)展歷程、聲表面波器件的特點(diǎn)與應(yīng)用。第2章介紹聲表面波器件用的各類(lèi)壓電材料——壓電單晶、壓電陶瓷以及壓電薄膜的制備、性能與特點(diǎn),重點(diǎn)介紹氧化鋅壓電薄膜材料制備與改性。第3章闡述叉指換能