《半導(dǎo)體工程導(dǎo)論》第1章概述了半導(dǎo)體區(qū)別于其他固體的基本物理特性,這些特性是理解半導(dǎo)體器件工作原理的必要條件。第2章回顧了半導(dǎo)體材料,包括無機(jī)、化合物、有機(jī)半導(dǎo)體材料。同時(shí),第2章也介紹了有代表性的絕緣體和導(dǎo)體的材料,它們是構(gòu)成可以工作的半導(dǎo)體器件和電路所必不可少的組成部分。而這些器件和電路是在第3章概述的。第4章是關(guān)于半導(dǎo)體工藝的基礎(chǔ)知識(shí),并且用通俗的語言討論了半導(dǎo)體制造中使用的方法、設(shè)備、工具和介質(zhì)。在概述了半導(dǎo)體工藝技術(shù)之后,第5章討論了主流半導(dǎo)體制造工藝中涉及的各單步工藝。第6章簡(jiǎn)要概述