從微電子工業(yè)到航天器推進系統(tǒng)乃至高效光源,低溫射頻等離子體在各種前沿技術(shù)中扮演著重要的角色,而且它是物理學(xué)、化學(xué)及工程學(xué)之間相互交叉的一個學(xué)科!渡漕l等離子體物理學(xué)》主要聚焦在物理學(xué)方面,所以主要適用于應(yīng)用物理及電子工程專業(yè)的研究生及科研人員!渡漕l等離子體物理學(xué)》不僅對射頻等離子體的前沿進展進行綜述,同時也包括一些等