本書從電力電子到功率集成電路(PIC)、智能功率技術(shù)、器件等方面給電源管理和半導體產(chǎn)業(yè)提供了一個完整的描述。本書不僅介紹了集成功率半導體器件,如橫向雙擴散金屬氧化物半導體場效應(yīng)晶體管(LDMOSFET)、橫向絕緣柵雙極型晶體管(LIGBT)和超結(jié)LDMOSFET的內(nèi)部物理現(xiàn)象,還對電源管理系統(tǒng)進行了一個簡單的介紹。本書運用計算機輔助設(shè)計技術(shù)(TCAD)仿真實例講解集成功率半導體器件的設(shè)計,代替抽象的理論處理和令人生畏的方程,并且還探討了下一代功率器件,如氮化鎵高電子遷移率功率晶體管(GaN功率HEMT)。本書內(nèi)容有助于填補功率器件工程和電源管理系統(tǒng)之間的空白。書中包括智能PIC的一個典型的工藝流程以及很難在其他同類書中找到的技術(shù)開發(fā)組織圖,通過對本書的閱讀,可以使學生和年輕的工程師在功率半導體器件領(lǐng)域領(lǐng)先一步。
從20世紀40年代末晶體管的發(fā)明開始,晶體管主要沿著兩個方向,即器件的小型化以及性能改進發(fā)展。性能改進的關(guān)鍵參數(shù)之一是晶體管的額定功率,它的發(fā)展導致功率半導體領(lǐng)域的產(chǎn)生。因為所有的電子器件都需要一個合適工作的電源和電源管理電路,功率半導體領(lǐng)域是過去幾十年晶體管發(fā)展的一個重要領(lǐng)域。
近年來,器件小型化使得最小特征尺寸接近納米級,而目前的超大規(guī)模集成電路(ULSI)技術(shù)能夠把數(shù)十億個晶體管集成在一個芯片上,這在芯片供電時會產(chǎn)生嚴重的問題。此外,由于環(huán)境問題需要更高的功率效率,也給系統(tǒng)的電源管理和電源電路帶來了沉重的負擔。這些和其他相關(guān)問題推動了功率半導體器件與技術(shù)領(lǐng)域的持續(xù)研究。
功率半導體領(lǐng)域發(fā)展的重點是針對高額定功率的分立功率器件。典型結(jié)構(gòu)是雙極型功率晶體管和晶閘管。由于這些器件緩慢的開關(guān)速度和較大的開關(guān)損耗,發(fā)明了快速開關(guān)器件,如垂直雙擴散MOS(VDMOS) 晶體管,而應(yīng)對較小的功率損耗,發(fā)明了絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)。隨著集成電路(IC)技術(shù)應(yīng)用越來越普遍,推動了集成功率晶體管與控制IC的低成本、結(jié)構(gòu)緊湊和高性能的應(yīng)用。為了實現(xiàn)這一目標,開發(fā)了橫向雙擴散MOS(LDMOS) 晶體管和橫向絕緣柵雙極型晶體管(LIGBT)。這是功率IC (PIC) 技術(shù)發(fā)展的黃金時代,并開發(fā)出了不同的雙極CMOSDMOS(BCD)技術(shù)。
伴隨如今發(fā)達的ULSI和PIC技術(shù),預(yù)計片上功率系統(tǒng)(PowerSOC)的發(fā)展對未來的消費和工業(yè)應(yīng)用將是一個非常有前途的方向。當然,要實現(xiàn)這一目標,實現(xiàn)高性能單片無源元件的各種其他技術(shù),也需要有效的無源元件和IC集成以及有效的功耗技術(shù)。
PIC技術(shù)的開發(fā),無論是高性能的橫向功率晶體管還是工藝技術(shù)都是必需的。對半導體器件和工藝技術(shù)的高效設(shè)計,在業(yè)界常用到計算機輔助設(shè)計技術(shù)(TCAD)工具。市面上已經(jīng)出版了一些關(guān)于功率器件設(shè)計和工藝開發(fā)的書籍,但沒有特別關(guān)注如何利用TCAD工具設(shè)計和開發(fā)功率器件和PIC的。本書目的是滿足這方面的需要,特別是剛剛進入功率半導體領(lǐng)域的工程師,對采用TCAD工具對器件和工藝進行設(shè)計和開發(fā)提供一個快速入門的途徑。
本書采用了自上而下的方法,引領(lǐng)新的工程師進入到該領(lǐng)域。它從基本的電力電子系統(tǒng)開始,同時介紹了功率IC,并在進入智能功率集成電路技術(shù)之前引導讀者探索半導體產(chǎn)業(yè),然后解釋基本工藝和器件模擬的TCAD建模,并討論了具體制造過程的精確和可靠模擬結(jié)果的模型校準,然后對如何利用TCAD工具進行功率IC工藝開發(fā)和功率器件設(shè)計進行了詳細介紹,這包括許多實際功率器件和工藝技術(shù)與工業(yè)設(shè)計有關(guān)的TCAD方法和過程的仿真實例。超過300張的圖示有效地說明了功率器件和設(shè)計的關(guān)鍵概念和技術(shù)。最后,簡要介紹了GaN功率器件的TCAD仿真,特別是對那些具有硅技術(shù)背景的,剛開始從事這一領(lǐng)域的讀者非常有幫助。
在本書的寫作過程中,作者得到了很多人的幫助和支持。要對他們每一個人慷慨的幫助和支持表示衷心的感謝。特別要感謝CrosslightSoftware的MichelLestrade,在審閱和校對工作中做出了重要貢獻;感謝不列顛哥倫比亞大學MaggieXia和Dr.YuanweiDong教授對第7章工藝仿真和其他章節(jié)的審閱;感謝浙江大學GangXie教授對第10章關(guān)于GaN器件仿真模擬的審閱;感謝MegaHertzPowerSystems公司首席執(zhí)行官RobertTaylor和GreeconTechnologies公司的RoumenPetkov博士對第1章的審閱和建議;感謝飛兆半導體公司(USA) GaryDolny博士和伊利諾理工大學的JohnShen教授對全書初步審閱和建議。
最后,特別感謝Taylor& Francis的NoraKonopka、MicheleSmith、KathrynEverett、IrisFahrer和TheresaDelforn專業(yè)和熱情的幫助。
譯者序
原書前言
作者簡介
第1章 電力電子,可以實現(xiàn)綠色的技術(shù)1
1.1 電力電子介紹1
1.2 電力電子的發(fā)展歷程3
。.3。模茫模米儞Q器4
。.4 線性穩(wěn)壓器4
。.5 開關(guān)電容DC/DC變換器(電荷泵) 5
。.6 開關(guān)模式DC/DC變換器6
。.7 線性穩(wěn)壓器、電荷泵和開關(guān)調(diào)節(jié)器的比較8
1.8 非隔離DC/DC開關(guān)變換器的拓撲結(jié)構(gòu)8
。.8.1。拢酰悖胱儞Q器9
1.8.2 Boost變換器11
。.8.3。拢酰悖耄猓铮铮螅糇儞Q器12
。.8.4。茫酰胱儞Q器14
1.8.5 非隔離式變換器額外的話題14
。.9 隔離的開關(guān)變換器拓撲結(jié)構(gòu)16
1.9.1 反激式變換器16
。.9.2 正激式變換器17
。.9.3 全橋變換器18
。.9.4 半橋變換器19
。.9.5 推挽變換器20
。.9.6 隔離DC/DC變換器其他話題20
。.9.7 隔離DC/DC變換器拓撲結(jié)構(gòu)的比較22
1.10。樱校桑茫烹娐贩抡妫玻
1.11 對于電池供電器件的電源管理系統(tǒng)23
。.12 小結(jié)24
第2章 功率變換器和電源管理芯片25
。.1 用于VLSI電源管理的動態(tài)電壓調(diào)節(jié)25
。.2 集成的DC/DC變換器27
。.2.1 分段的輸出級29
。.2.2 一個輔助級的瞬態(tài)抑制32
。.3 小結(jié)36
第3章 半導體產(chǎn)業(yè)和超摩爾定律37
3.1 半導體產(chǎn)業(yè)37
。.2 半導體產(chǎn)業(yè)的歷史38
。.2.1 一個簡要的時間表38
。.2.2 八叛逆38
3.2.3 半導體產(chǎn)業(yè)的歷史路線圖39
。.3 半導體產(chǎn)業(yè)的食物鏈金字塔40
。.3.1 第1層:晶圓和EDA工具41
。.3.2 第2層:器件工程42
。.3.3 第3層:IC設(shè)計42
。.3.4 第4層:制造、封裝和測試43
。.3.5 第5層:系統(tǒng)和軟件43
。.3.6 第6層:市場營銷44
3.4 半導體公司45
。.5 超摩爾定律46
第4章 智能功率IC技術(shù)49
4.1 智能功率IC技術(shù)基礎(chǔ)49
。.2 智能功率IC技術(shù):歷史展望50
4.3 智能功率IC技術(shù):產(chǎn)業(yè)展望52
。.3.1 智能功率IC技術(shù)的工程組52
4.3.2 智能功率IC技術(shù)開發(fā)流程55
。.3.3 計劃階段56
4.3.4 工藝集成和器件設(shè)計57
。.3.5 布圖、投片、制造和測試58
。.3.6 可靠性和標準59
。.3.7 目前智能功率技術(shù)的概述60
。.4 智能功率IC技術(shù):技術(shù)展望61
。.4.1 智能功率技術(shù)中的器件62
。.4.2 智能功率IC技術(shù)的設(shè)計考慮62
。.4.3 隔離方法65
第5章。裕茫粒墓に嚪抡娼榻B67
。.1 概述67
。.2 網(wǎng)格設(shè)置和初始化67
。.3 離子注入69
5.3.1分析模型70
。.3.2 多層注入71
目 錄Ⅸ
5.3.3。停铮睿簦澹茫幔颍欤锬M71
。.4 淀積72
。.5 氧化73
。.5.1 干氧氧化73
。.5.2 濕氧氧化74
。.5.3 氧化模型74
。.6 刻蝕76
5.7 擴散77
。.7.1 擴散機制78
5.7.2 擴散模型79
。.8 分凝80
。.9 工藝模擬器模型的校準83
。.10 3D TCAD工藝仿真介紹84
。.11 GPU仿真85
第6章。裕茫粒钠骷抡娼榻B87
。.1 概述87
6.2 器件仿真基礎(chǔ)87
。.2.1 漂移-擴散模型87
6.2.2 離散化88
。.2.3 Newton方法89
。.2.4 初始猜測和自適應(yīng)偏置步長89
。.2.5 收斂問題90
6.2.6 邊界條件91
。.2.7 瞬態(tài)仿真93
6.2.8 網(wǎng)格問題93
。.3 物理模型93
。.3.1 載流子統(tǒng)計94
。.3.2 雜質(zhì)的不完全電離94
6.3.3 重摻雜效應(yīng)94
。.3.4 SRH和Auger復合94
6.3.5 雪崩擊穿和碰撞電離95
。.3.6 載流子遷移率101
6.3.7 熱和自加熱106
。.3.8 帶隙變窄效應(yīng)107
6.4。粒梅治觯保埃
。.4.1 引言107
。.4.2 基本的公式108
。.4.3 在TCAD中的AC分析110
Ⅹ 集成功率器件設(shè)計及TCAD仿真
。.5 在TCAD仿真中的陷阱模型111
。.5.1 陷阱電荷的狀態(tài)111
6.5.2 陷阱動力學112
6.6 量子隧穿115
。.6.1 功率器件中量子隧穿的重要性115
6.6.2。裕茫粒姆抡娴幕舅泶├碚摚保保
。.6.3 隧穿的非平衡Green函數(shù)的介紹118
6.7 器件仿真器模型的校準119
第7章 功率IC工藝流程的TCAD仿真120
。.1 概述120
。.2 一個模擬的功率IC工藝流程120
。.2.1 工藝流程步驟120
。.2.2 模擬的工藝流程的結(jié)構(gòu)視圖121
。.3 智能功率IC工藝流程模擬122
7.3.1。校r底122
。.3.2。涡脱诼駥樱保玻
7.3.3 外延層生長和深N連接125
。.3.4 高壓雙阱127
。.3.5。危蹋模停希拥模行腕w注入128
。.3.6 有源區(qū)面積/淺溝槽隔離(STI) 129
。.3.7。乌搴停汹澹保常
。.3.8 低壓雙阱135
。.3.9 厚柵氧層和薄柵氧層136
。.3.10 多晶柵139
。.3.11。危蹋模暮停校蹋模 139
7.3.12 側(cè)墻141
。.3.13。危樱暮停校樱 142
7.3.14 后端工序144
第8章 集成功率半導體器件的TCAD仿真150
。.1。校谓Y(jié)二極管150
。.1.1 PN結(jié)基礎(chǔ)150
。.1.2 在平衡時的橫向PN結(jié)二極管151
8.1.3 正向?qū)ǎ▽☉B(tài)) 153
。.1.4 一個PN結(jié)二極管的反向偏置156
8.1.5 具有NBL的橫向PN結(jié)二極管156
。.1.6 PN結(jié)二極管的擊穿電壓增強158
。.1.7 反向恢復166
。.1.8。樱悖瑁铮簦簦耄䴓O管169
目 錄Ⅺ
8.1.9。冢澹睿澹蚨䴓O管170
8.1.10。校谓Y(jié)二極管的小信號模型173
8.2 雙極結(jié)型晶體管174
。.2.1。危校涡停拢剩缘幕竟ぷ髟恚保罚
。.2.2。危校涡停拢剩缘膿舸保罚
。.2.3 BJT的I-V曲線族182
。.2.4 Kirk效應(yīng)182
。.2.5。拢剩詿崾Э睾投螕舸┑姆抡妫保福
8.2.6。拢剩缘男⌒盘柲P秃徒刂诡l率的仿真188
。.3 LDMOS 191
。.3.1 擊穿電壓的提高191
8.3.2。蹋模停希又械募纳危校危拢剩 220
。.3.3 LDMOS的導通電阻222
。.3.4。蹋模停希拥拈撝惦妷海玻玻
8.3.5。蹋模停希拥妮椪占庸淘O(shè)計227
8.3.6。蹋模停希拥模桑智族228
。.3.7。蹋模停希拥淖约訜幔玻常
。.3.8 LDMOS的寄生電容231
。.3.9。蹋模停希拥臇烹姾桑玻常
8.3.10。蹋模停希臃倾Q位感應(yīng)開關(guān)(UIS) 235
。.3.11 LDMOS的簡潔模型236
第9章 集成的功率半導體器件的3DTCAD模擬238
。.1。常钠骷牟季中(yīng)238
。.2 LIGBT的3D仿真241
9.2.1 關(guān)于LIGBT 241
。.2.2 分段陽極LIGBT 241
9.2.3 分段陽極LIGBT3D工藝仿真244
。.2.4 分段陽極LIGBT的3D器件仿真246
。.3 超結(jié)LDMOS 254
9.3.1 基本概念254
。.3.2 超結(jié)LDMOS的結(jié)構(gòu)261
9.3.3 超結(jié)LDMOS的3D仿真261
。.3.4 超結(jié)LDMOS的3D器件仿真264
。.3.5 一個具有相同的N漂移區(qū)摻雜的標準LDMOS的3D仿真265
9.3.6 一個N漂移區(qū)摻雜降低的標準LDMOS的3D仿真265
。.3.7 超結(jié)LDMOS和標準LDMOS的比較266
9.4 超結(jié)功率FinFET 267
。.4.1 超結(jié)功率FinFET的工藝流程269
、 集成功率器件設(shè)計及TCAD仿真
9.4.2 超結(jié)功率FinFET的測量結(jié)果270
。.4.3 超結(jié)功率FinFET的3D仿真271
9.5 大的互連仿真273
。.5.1 大的互連的3D工藝仿真275
。.5.2 大的互連的3D器件仿真279
第10章 GaN器件介紹281
。保.1 化合物材料與硅281
10.2。牵幔纹骷囊r底材料282
10.3、 -氮族纖鋅礦結(jié)構(gòu)的極化特性283
10.3.1 微觀偶極子與極化矢量283
。保.3.2 晶體結(jié)構(gòu)與極化284
10.3.3 零凈極化的理想c0/a0比284
。保.4。粒欤牵幔危牵幔萎愘|(zhì)結(jié)287
。保.4.1 具有固定鋁摩爾分數(shù)的能帶圖288
。保.4.2 具有一個固定的AlGaN層厚度的能帶圖289
10.4.3 具有摻雜的AlGaN或GaN層的AlGaN/GaN結(jié)構(gòu)291
。保.4.4 具有金屬接觸的AlGaN/GaN結(jié)構(gòu)292
。保.5 在AlGaN/GaN結(jié)構(gòu)中的陷阱293
。保.6 一個簡單的AlGaN/GaN HEMT 294
。保.6.1 器件結(jié)構(gòu)294
10.6.2。牵幔 HEMT的ID -VG曲線296
10.6.3 小結(jié)297
。保.7。牵幔喂β剩龋牛停岳英 298
10.7.1 器件結(jié)構(gòu)298
。保.7.2。牵幔尾牧系呐鲎搽婋x系數(shù)300
。保.7.3。牵幔危龋牛停云骷膿舸┓抡妫常埃
。保.8。牵幔喂β剩龋牛停苑独 301
。保.9。牵幔 HEMT器件的柵極漏電流的仿真302
10.9.1 器件結(jié)構(gòu)302
。保.9.2 模型和仿真設(shè)置303
10.9.3 柵極泄漏電流仿真305
。保.10 化合物半導體電力應(yīng)用的市場前景306
附錄A 載流子統(tǒng)計308
附錄B 載流子統(tǒng)計309
附錄C 陷阱動力學和AC分析320