本書(shū)以通用光通信以及對(duì)半導(dǎo)體激光器的需求開(kāi)始,通過(guò)討論激光器的基礎(chǔ)理論,轉(zhuǎn)入半導(dǎo)體的有關(guān)詳細(xì)內(nèi)容。書(shū)中包含光學(xué)腔、調(diào)制、分布反饋以及半導(dǎo)體激光器電學(xué)性能的章節(jié),此外還涵蓋激光器制造和可靠性的主題。
本書(shū)可供半導(dǎo)體激光器、通信類研發(fā)人員、工程師參考使用,也適用于高年級(jí)本科生或研究生,作為主修的半導(dǎo)體激光器的課程,亦可作為光子學(xué)、光電子學(xué)或光通信課程的教材。
賈曉霞,江蘇華芯半導(dǎo)體科技有限公司,經(jīng)理、工程師,2005/07–2013/5:海特光電有限責(zé)任公司 | 研發(fā)部經(jīng)理
從GaAs基半導(dǎo)體激光器和InP基光電探測(cè)器的解理工藝工程師開(kāi)始,逐步學(xué)習(xí)半導(dǎo)體激光器的各種工藝技術(shù),工藝改進(jìn),提升了耦合工藝線和列陣工藝線的產(chǎn)品成品率,生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的一致性,在2008年底,被評(píng)為海特公司先進(jìn)工作者。此后作為技術(shù)主管,主要負(fù)責(zé)半導(dǎo)體激光器芯片和光電探測(cè)器芯片的所有工藝,并承擔(dān)研發(fā)部的芯片項(xiàng)目開(kāi)發(fā)。后期擔(dān)任研發(fā)部經(jīng)理,主要負(fù)責(zé)公司半導(dǎo)體激光器芯片和光電探測(cè)器芯片的研發(fā)以及生產(chǎn)管理。完成多項(xiàng)國(guó)家項(xiàng)目,780nm半導(dǎo)體激光器列陣20w,100w項(xiàng)目,635nm紅光大功率半導(dǎo)體激光器,980nm系列大功率半導(dǎo)體激光器,808nm 5w大功率半導(dǎo)體激光器等。
2013/6-2016/5山西飛虹激光科技有限公司,擔(dān)任常務(wù)副總,建設(shè)起一條激光器生產(chǎn)線并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
2016/6-今 江蘇華芯激光科技有限公司,經(jīng)理。
1緒論:光通信基礎(chǔ)知識(shí)1
1.1概述1
1.2光通信簡(jiǎn)介1
1.2.1光通信基礎(chǔ)1
1.2.2重要的巧合3
1.2.3光放大器4
1.2.4完整的技術(shù)5
1.3半導(dǎo)體激光器圖片5
1.4本書(shū)結(jié)構(gòu)7
1.5問(wèn)題8
2激光器的基礎(chǔ)知識(shí)9
2.1概述9
2.2激光器簡(jiǎn)介9
2.2.1黑體輻射9
2.2.2黑體輻射的統(tǒng)計(jì)熱力學(xué)觀點(diǎn)11
2.2.3幾種概率分布函數(shù)11
2.2.4態(tài)密度12
2.2.5黑體光譜15
2.3黑體輻射:愛(ài)因斯坦的觀點(diǎn)16
2.4激射的含義18
2.5自發(fā)輻射、受激輻射和激射之間的差異20
2.6一些激射系統(tǒng)例子21
2.6.1摻鉺光纖激光器21
2.6.2氦-氖氣體激光器21
2.7小結(jié)23
2.8問(wèn)題24
2.9習(xí)題25
3半導(dǎo)體激光材料1:基礎(chǔ)26
3.1概述26
3.2能帶和輻射復(fù)合26
3.3半導(dǎo)體激光器材料體系28
3.4確定帶隙30
3.4.1Vegard定律:三元化合物31
3.4.2Vegard定律:四元化合物32
3.5晶格常數(shù)、應(yīng)變和臨界厚度33
3.5.1薄膜外延生長(zhǎng)34
3.5.2應(yīng)變和臨界厚度34
3.6直接和間接帶隙37
3.6.1色散圖37
3.6.2色散圖的特點(diǎn)40
3.6.3直接和間接帶隙40
3.6.4聲子41
3.7小結(jié)43
3.8問(wèn)題43
3.9習(xí)題44
4半導(dǎo)體激光材料2:態(tài)密度、量子阱和增益46
4.1概述46
4.2半導(dǎo)體中電子和空穴的密度46
4.2.1方程式(4.9)的變換:有效質(zhì)量48
4.2.2方程式(4.9)的變換:包含帶隙50
4.3量子阱激光材料51
4.3.1理想量子阱中的能級(jí)52
4.3.2實(shí)際量子阱中的能級(jí)54
4.4量子阱中的態(tài)密度55
4.5載流子數(shù)57
4.5.1準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)57
4.5.2空穴數(shù)與電子數(shù)58
4.6激射條件59
4.7光增益60
4.8半導(dǎo)體光增益61
4.8.1聯(lián)合態(tài)密度62
4.8.2占據(jù)因子63
4.8.3比例常數(shù)64
4.8.4線寬展寬64
4.9小結(jié)65
4.10學(xué)習(xí)要點(diǎn)66
4.11問(wèn)題66
4.12習(xí)題67
5半導(dǎo)體激光器的運(yùn)行70
5.1概述70
5.2簡(jiǎn)單的半導(dǎo)體激光器71
5.3激光器的定性模型71
5.4吸收損失74
5.4.1帶間和自由載流子吸收75
5.4.2能帶-雜質(zhì)吸收76
5.5速率方程模型77
5.5.1載流子壽命79
5.5.2穩(wěn)態(tài)的重要性80
5.5.3增益和光子壽命的單位81
5.5.4斜率效率83
5.6腔面鍍膜器件84
5.7完整DC分析87
5.8小結(jié)89
5.9問(wèn)題90
5.10習(xí)題91
6半導(dǎo)體激光器電學(xué)性質(zhì)94
6.1概述94
6.2p-n結(jié)基礎(chǔ)94
6.2.1載流子密度作為費(fèi)米能級(jí)位置的函數(shù)95
6.2.2p-n結(jié)中的能帶結(jié)構(gòu)和電荷98
6.2.3非偏p-n結(jié)中的電流100
6.2.3.1擴(kuò)散電流100
6.2.3.2漂移電流100
6.2.4內(nèi)置電壓101
6.2.5空間電荷區(qū)寬度102
6.3外加偏置的半導(dǎo)體p-n結(jié)104
6.3.1外加偏置和準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)104
6.3.2復(fù)合和邊界條件105
6.3.3少子準(zhǔn)中性區(qū)擴(kuò)散電流108
6.4半導(dǎo)體激光器p-n結(jié)110
6.4.1二極管理想因子110
6.4.2閾值處的固定準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)110
6.5二極管特性總結(jié)111
6.6激光器的金屬接觸112
6.6.1能級(jí)定義112
6.6.2能帶結(jié)構(gòu)114
6.7激光器歐姆接觸的實(shí)現(xiàn)117
6.7.1金屬-半導(dǎo)體結(jié)中的電流傳導(dǎo):熱離子發(fā)射118
6.7.2金屬-半導(dǎo)體結(jié)中的電流傳導(dǎo):隧穿電流119
6.7.3二極管電阻和接觸電阻的測(cè)量120
6.8小結(jié)121
6.9問(wèn)題122
6.10習(xí)題123
7光學(xué)腔125
7.1概述125
7.2本章概述126
7.3法布里-珀羅光腔概述127
7.4激光腔支持的光學(xué)縱模128
7.4.1標(biāo)準(zhǔn)具支持的光學(xué)模式:一維激光腔128
7.4.2長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn)具的自由光譜范圍129
7.4.3法布里-珀羅激光器腔體中的自由光譜范圍131
7.4.4法布里-珀羅激光器的光學(xué)輸出133
7.4.5縱模134
7.5基于光譜的增益計(jì)算135
7.6光腔中的橫向模式137
7.6.1真實(shí)激光器中橫向模式的重要性138
7.6.2全反射140
7.6.3橫向電場(chǎng)和橫向磁場(chǎng)模式141
7.6.4波導(dǎo)模式的定量分析142
7.7二維波導(dǎo)設(shè)計(jì)146
7.7.1二維限制146
7.7.2有效折射率方法146
7.7.3針對(duì)激光器的波導(dǎo)設(shè)計(jì)148
7.8小結(jié)149
7.9問(wèn)題150
7.10習(xí)題150
8激光器調(diào)制153
8.1概述:數(shù)字和模擬光傳輸153
8.2數(shù)字傳輸規(guī)格154
8.3激光器小信號(hào)調(diào)制155
8.3.1小信號(hào)調(diào)制的測(cè)量156
8.3.2LED的小信號(hào)調(diào)制157
8.3.3回顧激光器速率方程159
8.3.4小信號(hào)均勻激光器響應(yīng)的推導(dǎo)161
8.3.5小信號(hào)激光器均勻響應(yīng)163
8.4激光器AC電流調(diào)制164
8.4.1推導(dǎo)大綱164
8.4.2激光器調(diào)制的測(cè)量和方程165
8.4.3激光器調(diào)制響應(yīng)分析167
8.4.4時(shí)間常數(shù)效應(yīng)示范169
8.5激光器帶寬的極限170
8.6相對(duì)強(qiáng)度噪聲測(cè)量172
8.7大信號(hào)調(diào)制173
8.7.1眼圖建模174
8.7.2激光器系統(tǒng)注意事項(xiàng)175
8.8小結(jié)176
8.9學(xué)習(xí)要點(diǎn)176
8.10問(wèn)題177
8.11習(xí)題178
9分布反饋激光器180
9.1單波長(zhǎng)激光器180
9.2單波長(zhǎng)激光器的必要性181
9.2.1單波長(zhǎng)器件的實(shí)現(xiàn)183
9.2.2窄增益介質(zhì)183
9.2.3高自由光譜范圍和中等增益帶寬183
9.2.4外部布拉格反射器185
9.3分布反饋激光器:概述186
9.3.1分布反饋激光器:物理結(jié)構(gòu)186
9.3.2布拉格波長(zhǎng)和耦合188
9.3.3單位往返增益188
9.3.4增益包封189
9.3.5分布反饋激光器:設(shè)計(jì)與制作190
9.3.6分布反饋激光器:零凈相位191
9.4分布反饋激光器的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)194
9.4.1相位對(duì)閾值電流的影響194
9.4.2相位對(duì)腔體功率分布及斜率的影響194
9.4.3相位對(duì)單模良率的影響196
9.5建模分布反饋激光器198
9.6耦合模式理論201
9.6.1衍射的直觀圖像201
9.6.2分布反饋激光器的耦合模式理論202
9.6.3測(cè)量κ206
9.7固有單模激光器207
9.8其他類型的光柵208
9.9學(xué)習(xí)要點(diǎn)209
9.10問(wèn)題210
9.11習(xí)題210
10其他:色散,制造及可靠性212
10.1概述212
10.2色散和單模器件213
10.3激光器的溫度效應(yīng)215
10.3.1波長(zhǎng)的溫度效應(yīng)215
10.3.2直流特性的溫度效應(yīng)216
10.4激光器制造:晶圓生長(zhǎng),晶圓制造,芯片制造與測(cè)試219
10.4.1襯底晶圓制造219
10.4.2激光器設(shè)計(jì)220
10.4.3異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)221
10.4.3.1異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長(zhǎng):分子束外延221
10.4.3.2異質(zhì)結(jié)構(gòu)生長(zhǎng):金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積221
10.5光柵制作223
10.5.1光柵制作223
10.5.2光柵二次生長(zhǎng)224
10.6晶圓制造225
10.6.1晶圓制造:脊形波導(dǎo)225
10.6.2晶圓制造:掩埋異質(zhì)結(jié)構(gòu)與脊形波導(dǎo)226
10.6.3晶圓制造:垂直腔面發(fā)射激光器228
10.7芯片制造230
10.8晶圓測(cè)試和良率231
10.9可靠性232
10.9.1單個(gè)器件測(cè)試和失效模式233
10.9.2失效的定義234
10.9.3老化速率的阿倫尼烏斯關(guān)系234
10.9.4老化速率,F(xiàn)IT和MTBF分析235
10.10結(jié)束語(yǔ)237
10.11小結(jié)238
10.12問(wèn)題239
10.13習(xí)題239
附錄241
附錄1國(guó)際單位制詞頭(SI詞頭)241
附錄2單位換算表242
附錄3常用物理量242
附錄4中英文詞匯對(duì)照表243
參考文獻(xiàn)247