目 錄
序
前言 第1章 走在產(chǎn)業(yè)前沿的時代驕子 1
1.1 MEMS的前世今生 2
1.1.1 MEMS是什么 2
1.1.2 MEMS的四個階段 5
1.2 小小的MEMS有大大的玄機 7
1.2.1 基本結(jié)構(gòu)及原理 8
1.2.2 MEMS設(shè)計 9
1.2.3 MEMS制造 16
1.2.4 MEMS封裝 30
1.2.5 MEMS測試 35
第2章 揭開MEMS的神秘面紗 44
2.1 傳感MEMS技術(shù) 45
2.1.1 氣體傳感器 45
2.1.2 加速度傳感器 51
2.1.3 陀螺儀 54
2.1.4 磁傳感器 57
2.1.5 聲敏傳感器 62
2.2 生物MEMS技術(shù) 65
2.2.1 相關(guān)分類 67
2.2.2 發(fā)展及現(xiàn)狀 68
2.2.3 熱點與挑戰(zhàn) 71
2.3 光學(xué)MEMS技術(shù) 76
2.3.1 相關(guān)分類 78
2.3.2 發(fā)展及現(xiàn)狀 84
2.3.3 熱點與挑戰(zhàn) 86
2.4 射頻MEMS技術(shù) 88
2.4.1 相關(guān)分類 90
2.4.2 發(fā)展及現(xiàn)狀 95
2.4.3 熱點與挑戰(zhàn) 96
第3章 悄然改變生活的MEMS 97
3.1 全球個人娛樂產(chǎn)業(yè)的支撐 98
3.1.1 手機 98
3.1.2 可穿戴設(shè)備 103
3.1.3 游戲機 107
3.2 汽車巨頭雄霸市場的撒手锏 108
3.2.1 車用傳感器的分類 109
3.2.2 車用MEMS 110
3.2.3 ADAS將推進汽車傳感器的融合 114
3.2.4 無人駕駛汽車中的MEMS傳感器 116
3.3 工業(yè)4.0背后的隱形功臣 121
3.3.1 工業(yè)機器人 121
3.3.2 智能機器人 125
3.3.3 智慧工廠 127
3.4 智慧醫(yī)療不眠的守護神 130
3.4.1 醫(yī)用測壓 130
3.4.2 醫(yī)療植入 131
3.4.3 胎心檢測 132
3.4.4 癌癥檢測 133
3.5 國家之間航空航天角力的硬科技 134
3.6 其他 135
3.6.1 仿生傳感器 135
3.6.2 智能家居 136
第4章 全球視角下的MEMS產(chǎn)業(yè)布局 140
4.1 全球MEMS產(chǎn)業(yè)分布詳解 141
4.1.1 美國 141
4.1.2 日本 143
4.1.3 歐洲 145
4.2 知名MEMS企業(yè)概覽 147
4.2.1 博世（Bosch） 147
4.2.2 意法半導(dǎo)體（ST） 148
4.2.3 德州儀器（TI） 150
4.2.4 英飛凌（Infineon） 151
4.2.5 樓氏電子（Knowles） 153
4.2.6 應(yīng)美盛（InvenSense） 155
4.2.7 電裝（Denso） 156
4.2.8 松下（Panasonic） 157
4.2.9 亞德諾半導(dǎo)體（ADI） 158
4.3 我國MEMS產(chǎn)業(yè)分布 159
第5章 MEMS企業(yè)并購整合的酸甜苦辣 161
5.1 所謂酸者，雖入口卻意味深長 162
軟銀:豪賭物聯(lián)網(wǎng)春天的巨人 162
5.2 所謂甜者，嘗到甜頭一發(fā)不可收 171
5.2.1 TDK，擁抱新的智能世界 171
5.2.2 奧地利AMS的買買買 179
5.3 所謂苦者，未嘗所愿也 184
高通，擬并購進入汽車半導(dǎo)體市場的巨人 184
5.4 所謂澀者，一波三折 189
美新半導(dǎo)體，本土加速度傳感器的王者 189
第6章 逐漸清晰的MEMS投資方向 193
6.1 政策引導(dǎo)下的投資方向 194
6.1.1 政策在說什么 194
6.1.2 政府想要什么 197
6.2 不同投資人眼中的MEMS投資機會 200
6.2.1 政府投資平臺 201
6.2.2 科技公司投資平臺 203
6.2.3 市場化投資基金 203