本書是“微機(jī)電系統(tǒng)”課程的配套教材，系統(tǒng)介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)及應(yīng)用前景、微機(jī)電系統(tǒng)的材料、微機(jī)電系統(tǒng)的加工、微機(jī)電系統(tǒng)的組成、微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及測試，重點(diǎn)介紹了適合于微機(jī)電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的柔順機(jī)構(gòu)和平面折展機(jī)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)方法。各章末均附有復(fù)習(xí)思考題，便于學(xué)生掌握所學(xué)知識。本書為高等院校機(jī)械類專業(yè)的本科生教學(xué)用書，也可供相關(guān)專業(yè)的工程技術(shù)人員和研究人員參考�！�…………………………………………………………………………………………………………………