本書集作者多年來的實踐經驗與研究成果，綜合介紹微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、掃描探針加工技術、微納米尺度的復制技術、各種沉積法與刻蝕法圖形轉移技術、間接納米加工技術與自組裝納米加工技術等。第四版在內容上反映了集成電路芯片加工技術的進步，不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生，還是對已經有一定工作經驗的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價值。