本書主要介紹了碳化硅(SiC)傳感器在高溫下熱電特性的研究進展。本書可分為三部分，共七章。第一部分從單層SiC和多層SiC的熱阻效應、熱電效應、熱電子效應和熱電容效應等物理效應方面來介紹SiC的熱電特性；第二部分介紹了SiC的諸多重要特征以及SiCMEMS的制造流程，總結了SiC傳感器、熱流傳感器和對流慣性傳感器的**進展；第三部分論述了SiC熱電傳感器的應用前景。

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