本書(shū)全面系統(tǒng)地介紹了精密納米計(jì)量的相關(guān)知識(shí)，重點(diǎn)講述了精密納米制造中測(cè)量角度和位移的光學(xué)傳感器，提出了改善傳感器靈敏度和帶寬，減小傳感器尺寸的技術(shù)，并開(kāi)發(fā)了新的多軸傳感方法；同時(shí)，詳細(xì)介紹了精密納米計(jì)量中用于表面形狀和平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的掃描型測(cè)量系統(tǒng)，闡述了納米制造中最基本的幾何形狀的測(cè)量誤差分離算法和系統(tǒng)；最后對(duì)微觀非球面的測(cè)量，納米制造中微納結(jié)構(gòu)的精密納米計(jì)量，以及長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的微觀尺寸的快速、準(zhǔn)確測(cè)量等進(jìn)行了介紹。