第1章諧振式傳感器的基礎(chǔ)理論

1.1概述

1.2 諧振現(xiàn)象

1.3諧振式傳感器的基本結(jié)構(gòu)及閉環(huán)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)

1.3.1 傳感器的基本結(jié)構(gòu)

1.3.2 閉環(huán)系統(tǒng)的時(shí)域分析

1.3.3閉環(huán)系統(tǒng)的復(fù)頻域分析

1.4諧振式傳感器的敏感機(jī)理

1.4.1 傳感器的輸出方式

1.4.2 測量機(jī)理的討論

1.5諧振敏感元件的機(jī)械品質(zhì)因數(shù)

1.5.1 機(jī)械品質(zhì)因數(shù)定義及內(nèi)涵

1.5.2 對傳感器閉環(huán)系統(tǒng)的影響

1.5.3 提高機(jī)械品質(zhì)因數(shù)的措施

1.6 諧振式傳感器的動(dòng)態(tài)特性

1.6.1階躍特性

1.6.2 正弦周期特性

1.7 諧振式傳感器輸出信號的檢測方法

1.7.1 頻率輸出.

1.7.2 相位差輸出.

1.7.3幅值比輸出.

1.8 諧振式傳感器的核心關(guān)鍵問題

1.9 諧振式傳感器的特征與優(yōu)勢

1.10 諧振彈性敏感元件的材料

1.10.1 精密恒彈合金

1.10.2 單晶硅

1.10.3 熔凝石英

1.10.4 壓電石英晶體

1.10.5 石墨烯 .

思考題

第2章諧振式壓力傳感器

2.1 概述

2.2 基本工作原理.

2.3諧振弦式壓力傳感器

2.3.1結(jié)構(gòu)與原理

2.3.2 頻率特性方程

2.3.3激勵(lì)方式.

2.4諧振膜式壓力傳感器.

2.4.1 結(jié)構(gòu)與原理

2.4.2 頻率特性方程

2.5 電磁激勵(lì)諧振筒式壓力傳感器

2.5.1結(jié)構(gòu)與原理..

2.5.2頻率特性方程

2.5.3激勵(lì)方式

2.5.4特性線性化與誤差補(bǔ)償

2.6壓電激勵(lì)諧振簡式壓力傳感器

2.6.1結(jié)構(gòu)與原理

2.6.2 壓電激勵(lì)特性

2.6.3 檢測信號的轉(zhuǎn)換

2.6.4穩(wěn)定的單模態(tài)自激系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)

2.6.5雙重模態(tài)的有關(guān)問題

2.7石英振梁式壓力傳感器

2.7.1 結(jié)構(gòu)與原理

2.7.2 頻率特性方程

2.8諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器

2.8.1 結(jié)構(gòu)與原理

2.8.2 頻率特性方程

2.8.3信號轉(zhuǎn)換過程

2.8.4梁諧振敏感元件的溫度場模型與熱特性分析

2.8.5 開環(huán)特性測試系統(tǒng)

2.8.6閉環(huán)系統(tǒng)

2.9 具有差動(dòng)輸出的諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器

2.9.1 結(jié)構(gòu)與原理

2.9.2 頻率特性方程

2.9.3算例與分析

2.10 石墨烯諧振式壓力傳感器

210.1 石墨烯諧振器

2.10.2 石墨烯諧振式壓力傳感器的兩種典型結(jié)構(gòu)

2.10.3石墨諧式傳器需要解決的技術(shù)難點(diǎn)

思考題.

第3章 諧振式慣性傳感器

3.1 概 述.

3.2 基本工作原理

……

第4章 諧振式直接質(zhì)量流量傳感器

第5章 聲表面波諧振式傳感器

主要參考文獻(xiàn)