書中重點聚焦于固體中電子輸運過程的仿真方法、二次電子發(fā)射特性仿真分析及其應用三個部分。首先主要介紹了電子散射截面計算方法、隨機數、最小值、蒙特卡羅仿真策略等；然后在二次電子發(fā)射特性仿真分析重點討論了背散射系數、二次電子發(fā)射系數、二次電子能譜的計算結果；最后討論了仿真方法在SEM中線寬測量、能量選擇掃描電子摻雜襯度計算以及PMMA中的能量沉積。第三版是前兩版內容的延伸，更新內容包括了電子束的自旋極化理論、分子彈性散射的研究，Bethe-Bloch阻止本領公式的簡化、f-sum規(guī)則、ps-sum規(guī)則、用于計算背散射系數的Vicanek和Urbassek公式以及二次電子能譜的Wolff理論。第3版中電子與物理相互作用的理論更為全面，蒙特卡羅仿真的實用性也更強。