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機械量傳感器與MEMS技術(shù)及應(yīng)用 讀者對象:本書可作為電子科學(xué)與技術(shù)、電氣工程及其自動化、自動化、測控技術(shù)與儀器、機械工程及自動化、過程裝備與控制工程、探測制導(dǎo)與控制技術(shù)等專業(yè)科技工作者,以及工程技術(shù)管理人員的參考,也可供相關(guān)專業(yè)的大學(xué)高年級學(xué)生、研究生參考
本分冊介紹機械量傳感器及其應(yīng)用。包括傳感器靜態(tài)、動態(tài)性能的評估,傳感器用基本彈性敏感元件的力學(xué)特性;機械量傳感器用到的變電阻、變電容、變電感、壓電式、諧振式等基本測量原理;力、力矩、速度、轉(zhuǎn)速、角速度、加速度、振動、溫度、壓力以及流量傳感器等;機械量傳感器的典型應(yīng)用實例。
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