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傳感器與MEMS技術(shù)導(dǎo)論 讀者對象:傳感器技術(shù)人員
本書按照材料、基本概念、專業(yè)知識的分類。將說涉及應(yīng)該簡要講解的內(nèi)容共寫成12章。內(nèi)容包括敏感材料和與物理效應(yīng),傳感器的分類、特性與建模仿真,力、扭矩與慣性傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,熱工量中壓力、流量、溫度的測量與傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,光、輻射與圖像傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,磁學(xué)傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,聲學(xué)量傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,化學(xué)、電化學(xué)與氣體傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,生物與離子傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,機器人傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計,微系統(tǒng)MEMS工藝技術(shù)與封裝及可靠性,傳感器與微系統(tǒng)的典型應(yīng)用。
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