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微電子制造技術(shù)實驗教程 
定 價：29 元 叢書名：微電子專業(yè)實驗教材系列叢書
9 7 4 8 4 7 4 0 9 3 4 0 3 讀者對象:本書可作為高等院校電子及相關(guān)專業(yè)的實驗教材, 也可作為教師和一般微電子制造工程技術(shù)人員的參考資料
本書是面向微電子及相關(guān)專業(yè)的試驗教程, 以微電子器件制造過程為主線, 重點闡述學生在微電子制造技術(shù)學習中必須掌握的基礎(chǔ)知識和試驗方法。第1、2章介紹清洗、氧化、擴散、離子注入、光刻、刻蝕、沉積等相關(guān)制造工藝的基礎(chǔ)知識和基礎(chǔ)試驗, 詳細闡述各項單步工藝的試驗原理、試驗設(shè)備、試驗方法和步驟。第3章介紹微電子器件制造過程中的物理性能測試試驗和電學性能測試試驗。第4章介紹二極管、肖特基二極管、三極管、CMOS管、集成電阻器等器件的制造以及集成運算放大器的參數(shù)測試、邏輯IC功能和參數(shù)的測試兩個綜合實驗。
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