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微米加工與納米制造

微米加工與納米制造

定  價:128 元

叢書名:國際機械工程先進技術譯叢

        

  • 作者:Mark JJackson 著
  • 出版時間:2015/12/1
  • ISBN:9787111514824
  • 出 版 社:機械工業(yè)出版社
  • 中圖法分類:TB383 
  • 頁碼:375
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:1
  • 開本:16開
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  本書是微米/納米加工技術方面的一本優(yōu)秀著作,既有一定的理論深度,又有足夠的廣度,而且還有較高的可讀性。它較為系統(tǒng)地梳理了微米加工(特別是非硅基加工)技術以及納米加工手段,結合微流體、微慣性器件、納米傳感器等方面的典型案例,闡釋了這些技術的原理和特點,提出了特定問題的高效率解決方案,給出了工藝設計方面的指南,并對這些技術的發(fā)展走向做出了高屋建瓴的判斷。

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