本書介紹了功率半導(dǎo)體模塊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和關(guān)鍵材料,材料部分涵蓋了當(dāng)前功率半導(dǎo)體模塊中使用的各種類型材料,包括連接材料、基板材料、底板材料、灌封材料、外殼材料和引線端子材料等。此外,《電力電子模塊設(shè)計(jì)與制造》還包含了制造工藝、測(cè)試技術(shù)、質(zhì)量控制和可靠性失效機(jī)理分析!峨娏﹄娮幽K設(shè)計(jì)與制造》內(nèi)容新穎,緊跟時(shí)代發(fā)展,重點(diǎn)圍繞IGBT模塊產(chǎn)品的設(shè)計(jì)與制造方面展開介紹,同時(shí)還綜述了IGBT模塊的新研究進(jìn)展。
適讀人群 :電力電子行業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)人員以及高校電氣自動(dòng)化相關(guān)專業(yè)師生
在電力電子技術(shù)飛速發(fā)展、應(yīng)用也日益廣泛的今天,這本《電力電子模塊設(shè)計(jì)與制造》對(duì)于我國(guó)電力電子模塊的研發(fā)設(shè)計(jì)與制造,具有極為重要的學(xué)習(xí)意義和參考價(jià)值!
原書前言
功率半導(dǎo)體模塊本質(zhì)上是利用多種不同的技術(shù)將不同材料組裝起來的一種功率電路。包括半導(dǎo)體連接技術(shù)、引線鍵合技術(shù)、絕緣灌封技術(shù)等。這些材料從絕緣體、導(dǎo)體和半導(dǎo)體再到無機(jī)材料和有機(jī)材料,涵蓋范圍很廣。由于這些材料在不同的環(huán)境條件,電力工況和熱應(yīng)力狀態(tài)下的響應(yīng)迥異,因此選擇合適的材料和裝配工藝就顯得尤為重要。因此,只有深入掌握這些材料的各項(xiàng)屬性和工藝技術(shù),才能制造出高性能和高可靠性的功率半導(dǎo)體模塊。
設(shè)計(jì)并制造功率半導(dǎo)體模塊需要綜合利用各種技術(shù),因此工程師們需要掌握以下基本知識(shí):
半導(dǎo)體芯片;
熱-電和熱-力耦合管理;
陶瓷基板及其表面金屬化;
金屬底板;
焊料合金和回流焊技術(shù);
焊料凸點(diǎn)技術(shù);
塑料;
功率端子;
化學(xué)清洗技術(shù):
超聲波鋁線鍵合;
環(huán)氧樹脂和表面包覆;
環(huán)境約束;
電氣,熱,機(jī)械測(cè)試;
監(jiān)測(cè)技術(shù)和工具;
分析技術(shù)和工具;
可靠性、統(tǒng)計(jì)性過程控制、高加速壽命測(cè)試(HALT)、高加速應(yīng)力篩選(HASS)以及壽命測(cè)試;
設(shè)備需求;
條形碼或二維碼。
電力電子模塊設(shè)計(jì)與制造原書前言多樣性的知識(shí)要求意味著挑戰(zhàn)。本書旨在滿足快速壯大的功率半導(dǎo)體模塊產(chǎn)品的工程師隊(duì)伍在以上知識(shí)的需求。當(dāng)然我們無法僅僅靠這一本書去涵蓋上述每項(xiàng)技術(shù)的所有細(xì)節(jié)。因此,基于作者以往的經(jīng)驗(yàn),本書將主要呈現(xiàn)每項(xiàng)技術(shù)的基本要素。這些要素涵蓋了所需的基礎(chǔ)知識(shí)或者基本原理。
由于IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)模塊在電力行業(yè)尤其是在發(fā)電、電力轉(zhuǎn)換、UPS(不間斷電源)、焊接、機(jī)器人、機(jī)動(dòng)車、交/直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)等領(lǐng)域中變得越來越重要,導(dǎo)致其近年來廣受關(guān)注。盡管IGBT模塊的部分技術(shù)也能通用于其他種類的功率半導(dǎo)體模塊,但鑒于IGBT的日益普及,本書內(nèi)容將重點(diǎn)圍繞IGBT模塊展開。目前絕大多數(shù)的功率半導(dǎo)體制造廠商(OEM)要么已經(jīng)能生產(chǎn)IGBT模塊產(chǎn)品,要么也已積極在從事IGBT模塊產(chǎn)品的研發(fā)。
目前許多研究型大學(xué)在此領(lǐng)域已開展大量的研究,已有大量的學(xué)術(shù)論文在各類期刊和電力電子相關(guān)學(xué)術(shù)會(huì)議上發(fā)表。這些研究論文提供了許多非常有價(jià)值的信息,不過這些信息相對(duì)分散。因此,本書作者們綜述了IGBT模塊最新的研究進(jìn)展,希望能為功率半導(dǎo)體模塊的設(shè)計(jì)和制造提供技術(shù)支撐。
盡管本書專門討論了IGBT模塊的熱管理技術(shù),但是其中所涉及的知識(shí)總體上也適用于絕大多數(shù)其他電子產(chǎn)品的熱管理。由于功能種類和功率密度要求在電子工業(yè)中幾乎所有層面都在不斷增加,導(dǎo)致熱管理技術(shù)對(duì)于半導(dǎo)體器件的長(zhǎng)期服役可靠性至關(guān)重要。這其中涵蓋低至消費(fèi)電子產(chǎn)品,高至軍事/航空航天應(yīng)用的電子產(chǎn)品。應(yīng)用領(lǐng)域涉及射頻發(fā)射器、手機(jī)、微處理器、存儲(chǔ)器、機(jī)動(dòng)車輛、便攜式/手持式電子器件等。本書提供的信息適用于上述但不局限于以上領(lǐng)域的更多電子產(chǎn)品。
本書主要分為三部分:
材料;
制造工藝及質(zhì)量控制;
設(shè)計(jì)和結(jié)果。
為保證讀者可以將本書中的信息直接用于自身的學(xué)習(xí)和工作當(dāng)中,書中所有章節(jié)內(nèi)容均側(cè)重與生產(chǎn)實(shí)際和應(yīng)用需求相結(jié)合。
作者再次聲明,本書中所列出的所有材料和裝備供應(yīng)商或者相關(guān)周邊服務(wù)的公司僅作為參考,作者并無任何個(gè)人傾向或變相宣傳的意圖。
本書旨在服務(wù)于:
功率半導(dǎo)體模塊的設(shè)計(jì),工藝,質(zhì)量控制和應(yīng)用工程師;
功率電子領(lǐng)域的專業(yè)研究人員和高校學(xué)生。
譯者序
本書是根據(jù)美國(guó)WilliamWSheng和RonaldPColino所著的《PowerElectronicModulesDesignandManufacture》翻譯的。
作者WilliamWSheng博士和RonaldPColino博士均是SmartRelayTechnology公司的創(chuàng)始人,并曾分別擔(dān)任此公司技術(shù)副總裁和公司總裁。他們都曾在通用電氣公司工作并擔(dān)任半導(dǎo)體技術(shù)相關(guān)部門經(jīng)理。WilliamWSheng博士已在電子行業(yè)工作超過25年,一直從事固態(tài)繼電器和功率半導(dǎo)體技術(shù)的研究,曾獲得通用電氣公司的技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng),已發(fā)表許多學(xué)術(shù)論文并擁有多項(xiàng)專利。RonaldPColino博士主要從事固態(tài)繼電器、混合集成電路、MOS集成電路和半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的設(shè)計(jì)和市場(chǎng)營(yíng)銷,在集成電路方面也擁有多項(xiàng)專利。
本書重點(diǎn)圍繞IGBT模塊,系統(tǒng)闡述了功率半導(dǎo)體模塊的封裝技術(shù)及關(guān)鍵材料,詳細(xì)地介紹了它們的設(shè)計(jì)原理、制造工藝、測(cè)試技術(shù)、可靠性以及失效機(jī)理。書中介紹的模塊封裝材料涵蓋了連接材料、基板材料、底板材料、灌封材料、外殼材料和引線端子材料等。書中還專門綜述了IGBT模塊的最新研究進(jìn)展。本書對(duì)該專業(yè)的師生,以及從事功率半導(dǎo)體模塊的研發(fā)人員、生產(chǎn)人員和應(yīng)用技術(shù)人員都有較大幫助,值得學(xué)習(xí)參考。
本書前言、第1~3章和附錄由天津大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院梅云輝副教授翻譯,第4~5章由中國(guó)科學(xué)院電工研究所寧圃奇研究員翻譯。限于譯者水平,書中難免有誤譯和欠妥之處,敬請(qǐng)讀者批評(píng)指正。
在本書的翻譯出版過程中得到了美國(guó)弗吉尼亞理工大學(xué)材料系與電機(jī)系終身教授陸國(guó)權(quán)博士和中國(guó)科學(xué)院電工研究所溫旭輝研究員的支持和指導(dǎo),在此表示衷心感謝。天津大學(xué)和中國(guó)科學(xué)院電工研究所的譯者也借此機(jī)會(huì)對(duì)研究生馮晶晶、李潔、王迪、陸盛昌等的協(xié)助表示感謝!
譯者
作者William W. Sheng博士和Ronald P Colino博士均是Smart Relay Technology公司的創(chuàng)始人,并曾分別擔(dān)任此公司技術(shù)副總裁和公司總裁。他們都曾在通用電氣公司工作并擔(dān)任半導(dǎo)體技術(shù)相關(guān)部門經(jīng)理。William W Sheng博士已在電子行業(yè)工作超過25年,一直從事固態(tài)繼電器和功率半導(dǎo)體技術(shù)的研究,曾獲得通用電氣公司的技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng),已發(fā)表許多學(xué)術(shù)論文并擁有多項(xiàng)專利。Ronald P Colino博士主要從事固態(tài)繼電器、混合集成電路、MOS集成電路和半導(dǎo)體存儲(chǔ)器的設(shè)計(jì)和市場(chǎng)營(yíng)銷,在集成電路方面也擁有多項(xiàng)專利。
譯者序
原書前言
第1章功率模塊概述1
參考文獻(xiàn)4
第2章功率模塊材料選擇要點(diǎn)5
參考文獻(xiàn)6
第3章材料7
3.1絕緣襯底和金屬化7
3.1.1襯底材料的選擇標(biāo)準(zhǔn)7
3.1.2絕緣襯底列表8
3.1.3絕緣襯底材料的選擇14
3.1.4絕緣襯底表面金屬化19
3.1.5金屬化的種類19
3.1.6供貨商25
參考文獻(xiàn)28
3.2底板29
3.2.1選擇標(biāo)準(zhǔn)29
3.2.2底板材料30
3.2.3可用底板材料概述30
3.2.4產(chǎn)品成本36
3.2.5適用的底板/襯底材料表36
參考文獻(xiàn)37
3.3連接材料37
3.3.1壓接式互連37
3.3.2連接材料互連詳述38
3.3.3焊料的選擇標(biāo)準(zhǔn)39
3.3.4無鉛焊料50
3.3.5焊錫膏的組成53
3.3.6生產(chǎn)、工藝和設(shè)備條件53
參考文獻(xiàn)55
3.4功率互連與功率端子55
3.4.1功率端子56
參考文獻(xiàn)60
3.5灌封材料60
3.5.1選擇標(biāo)準(zhǔn)60
3.5.2選擇方法61
3.5.3灌封材料簡(jiǎn)述61
3.5.4制造方案65
3.5.5供貨商66
3.5.6供應(yīng)商產(chǎn)品特點(diǎn)66
參考文獻(xiàn)72
3.6塑料管殼和端蓋72
參考文獻(xiàn)78
3.7功率半導(dǎo)體芯片78
3.7.1IGBT芯片78
3.7.2FRED芯片85
參考文獻(xiàn)87
第4章IGBT功率模塊制造88
4.1制造工藝88
4.1.1IGBT芯片的分類與歸組90
4.1.2材料清洗92
4.1.3焊接互連102
4.1.4功率端子互連114
4.1.5電氣和熱學(xué)測(cè)試122
參考文獻(xiàn)136
4.2工藝控制與可靠性137
4.2.1工藝控制137
4.2.2測(cè)試設(shè)備138
4.2.3過程檢測(cè)139
4.2.4長(zhǎng)期可靠性147
參考文獻(xiàn)155
4.3制造設(shè)備與耗材156
4.3.1ESD157
4.3.2去離子水159
4.3.3焊接工藝氣氛159
4.3.4化學(xué)試劑159
4.3.5電力供應(yīng)159
4.3.6相對(duì)濕度159
4.3.7氣流和壓差159
4.3.8環(huán)境顆粒物含量159
4.3.9貯存柜160
4.3.10潔凈間及配套設(shè)施160
4.3.11安全標(biāo)準(zhǔn)160
4.3.12環(huán)境要求161
參考文獻(xiàn)162
4.4生產(chǎn)工藝流程圖162
4.4.1標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)工藝162
4.4.2其他生產(chǎn)工藝172
第5章功率模塊設(shè)計(jì)173
5.1熱管理設(shè)計(jì)175
5.1.1模塊的疊層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)175
5.1.2熱導(dǎo)率分析176
5.1.3熱應(yīng)力分析177
參考文獻(xiàn)179
5.2電路分區(qū)180
5.2.1芯片和絕緣襯底間的熱應(yīng)力180
5.2.2絕緣襯底尺寸分析182
5.2.3IGBT芯片并聯(lián)技術(shù)183
5.2.4成本核算183
參考文獻(xiàn)184
5.3模塊整體設(shè)計(jì)指南與規(guī)范184
5.3.1陶瓷材料用作絕緣襯底的設(shè)計(jì)184
5.3.2陶瓷材料用作絕緣襯底的金屬化圖案布局185
5.3.3金屬底板設(shè)計(jì)190
5.3.4功率端子/快接導(dǎo)片/互連橋設(shè)計(jì)191
5.3.5塑料管殼和端蓋設(shè)計(jì)194
5.3.6焊片設(shè)計(jì)197
參考文獻(xiàn)197
5.4實(shí)例197
5.4.1生產(chǎn)成本估算197
5.4.2備選方案的理論值比較198
5.4.3模塊試制的散熱性能198
參考文獻(xiàn)218
附錄219
附錄A功率模塊中的功率MOSFET、晶閘管和二極管219
附錄B條形碼和二維碼221