采用交流伺服驅(qū)動的伺服機械壓力機去除了飛輪、離合器和制動器等笨重的裝置，靠電動機瞬時轉(zhuǎn)矩進行壓制工作，由計算機控制，不僅能夠大幅節(jié)能，而且其工作參數(shù)可控、運動曲線可編程。它改變了傳統(tǒng)成形裝備控制性能差、工藝適應(yīng)范圍窄、能耗高、可靠性低等缺點，是典型的新一代綠色智能化裝備。伺服機械壓力機的設(shè)計、控制和使用與傳統(tǒng)壓力機大不

阮勇、尤政編著的《硅MEMS工藝與設(shè)備基礎(chǔ)/MEMS與微系統(tǒng)系列/微米納米技術(shù)叢書》在第1章首先介紹MEMS器件的硅MEMS基本工藝、器件和新材料，在此基礎(chǔ)上，第2章闡述MEMS工藝設(shè)計規(guī)則與工藝誤差，第3章至第8章闡述硅MEMS單項工藝，介紹相關(guān)工藝原理與典型設(shè)備，第9章分析列舉了典型的硅MEMS器件結(jié)構(gòu)的工藝制備，

本書討論的主題是微機電系統(tǒng)（MEMS）這一前沿的交叉學(xué)科。作者通過對MEMS技術(shù)的主要方面：結(jié)構(gòu)、材料、工藝、設(shè)計、測量進行系統(tǒng)論述，并隨之以對MEMS典型應(yīng)用的分類介紹，為讀者勾勒出當(dāng)前微機電系統(tǒng)的發(fā)展全貌。作為對主體內(nèi)容的補充和延伸，納機電系統(tǒng)和石墨烯在本書的結(jié)尾部分被予以專門的討論。為MEMS專業(yè)課程提供適用的本

本書主要闡述超聲波電機控制技術(shù)及具體裝置的設(shè)計與實現(xiàn)方法，反映超聲波電機控制領(lǐng)域的**進展，內(nèi)容豐富，深入淺出，包括超聲波電機改進PID控制技術(shù)、黃金分割自適應(yīng)控制技術(shù)、模型參考自適應(yīng)控制技術(shù)等。針對超聲波電機產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用需求，書中給出多種在線計算量小的超聲波電機新型控制策略及詳細設(shè)計方法，分析超聲波電機系統(tǒng)的控制非線性

本書共12章，內(nèi)容包括微特電機基礎(chǔ)、直流伺服電動機、交流伺服電動機、步進電動機、測速發(fā)電機、旋轉(zhuǎn)變壓器、力矩電動機、永磁直流電動機、永磁同步電動機、永磁無刷電動機、單相交流串勵電動機、開關(guān)磁阻電動機。書中簡要介紹了常用微特電機的基本結(jié)構(gòu)、工作原理、主要特性與控制方法。著重介紹了常用微特電機的主要技術(shù)指標(biāo)、選擇方法、應(yīng)用

微特電機及系統(tǒng)在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、國防、航空航天以及自動化領(lǐng)域具有非常廣泛的用途。微特電機常用于控制系統(tǒng)中，以實現(xiàn)機電信號或能量的檢測、解算、放大、執(zhí)行或轉(zhuǎn)換等功能，或用于傳動機械負載，也可作為設(shè)備的交、直流電源。微特電機在課程體系上是電機學(xué)的延伸與深化，其理論性與實踐性較強，是電氣工程及其自動化、電機與電氣、工業(yè)自動化、機

相對于人們對涉及的非傳統(tǒng)物理的理解，MEMS技術(shù)發(fā)展得非�？�。只有深刻掌握其基本原理，才能促進MEMS技術(shù)的提高，才有可能進行微機電系統(tǒng)的設(shè)計和制造，并讓其在現(xiàn)有的和設(shè)想的各個領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本書是MEMS手冊中的基礎(chǔ)部分，提供有關(guān)MEMS理論和技術(shù)基礎(chǔ)的文獻和參考。書中除了介紹MEMS在微小尺度方面的物理學(xué)、流體力學(xué)、

《MEMS多晶圓旋轉(zhuǎn)機械：渦輪機、發(fā)電機和發(fā)動機》作為PowerMEMS領(lǐng)域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工學(xué)院牽頭、歷時13年的MEMS微發(fā)動機項目研究成果的一個總結(jié)。該項目涉及了多個學(xué)科的理論與技術(shù)，涵蓋微制造、薄膜技術(shù)、材料科學(xué)、結(jié)構(gòu)學(xué)、燃燒與傳熱學(xué)、電機科學(xué)等多個領(lǐng)域，除麻省理工學(xué)院之外還有佐治亞理工學(xué)院、克

《MEMS多晶圓旋轉(zhuǎn)機械：渦輪機、發(fā)電機和發(fā)動機》作為PowerMEMS領(lǐng)域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工學(xué)院牽頭、歷時13年的MEMS微發(fā)動機項目研究成果的一個總結(jié)。該項目涉及了多個學(xué)科的理論與技術(shù)，涵蓋微制造、薄膜技術(shù)、材料科學(xué)、結(jié)構(gòu)學(xué)、燃燒與傳熱學(xué)、電機科學(xué)等多個領(lǐng)域，除麻省理工學(xué)院之外還有佐治亞理工學(xué)院、克

本書系統(tǒng)論述各種控制電機與特種電機的結(jié)構(gòu)原理、特性、應(yīng)用等，鑒于一些電機與其控制部分的不可分割性特點，本書對部分電機的控制系統(tǒng)也做了詳細介紹。全書共分11章，包括緒論、測速發(fā)電機、自整角機、旋轉(zhuǎn)變壓器、伺服電動機及其控制、步進電動機及其驅(qū)動、無刷直流電動機及其控制、開關(guān)磁阻電機及其控制、直線電動機、盤式電動機、超聲波電