折射衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)的單步光刻與濕法蝕刻原理與應(yīng)用
定 價:169 元
- 作者:張新宇,謝長生著
- 出版時間:2021/10/1
- ISBN:9787118122848
- 出 版 社:國防工業(yè)出版社
- 中圖法分類:TN405.98
- 頁碼:211頁
- 紙張:膠版紙
- 版次:1
- 開本:16K
本書主要針對可見光、紅外和太赫茲等譜域的折射與衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu),開展新的設(shè)計、工藝制作和測試評估方法的研究。重點論述了以折射和衍射微光學(xué)積分變換為基礎(chǔ),有效出射可見光、紅外及太赫茲多譜圖像與波前的基礎(chǔ)理論和基本方法,建立了基于衍射相位精細構(gòu)建在設(shè)計、仿真、工藝、測試與評估等方面的數(shù)據(jù)和方法體系。
本書總結(jié)了作者及其研究團隊過去10余年,針對可見光、紅外以及太赫茲等譜域的折射和衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu),開展新的設(shè)計和工藝制作方法方面的研究工作。重點論述了以折射和衍射微光學(xué)積分□換為基礎(chǔ)的,能有效出射可見光、紅外及太赫茲譜域的多譜光學(xué)強度圖像與波前的基礎(chǔ)理論和基本方法;建立了微光學(xué)圖像和波前結(jié)構(gòu)的設(shè)計、仿真、工藝、性能測試與評估等的有效手段和數(shù)據(jù)體系:獲取了多項關(guān)鍵性的參數(shù)指標(biāo)。通過對光學(xué)強度圖像和波前在對比度、亮度、灰度、頻譜和□動特征等方面的快速(實時)調(diào)控,實現(xiàn)了逼真出射層次豐富、細節(jié)清晰完整、圖像參量易于控制、生成區(qū)域大、作用距離遠、衍射效率和能量集中度較高的強度圖像與波前。其主要研究工作如下:①建立了以折射和衍射微光學(xué)積分□換為基礎(chǔ)、以微納米特征尺寸微光學(xué)結(jié)構(gòu)為執(zhí)行結(jié)構(gòu)的,能出射可見光、紅外及太赫茲譜域的多譜圖像與復(fù)雜波前的基礎(chǔ)理論;②獲得了微納衍射相位結(jié)構(gòu)的基本設(shè)計方法、制作工藝流程、關(guān)鍵參數(shù)以及圖像出射效能的測試和評估方法;③在圖像和波前仿真、光電對抗、與多種光學(xué)光電功能結(jié)構(gòu)(包括CCD和CMOS光敏芯片)、與光電存儲光學(xué)頭匹配的折射和衍射物鏡研制,以及太赫茲圖形、圖像和波前的生成與發(fā)射方面所獲得的突破。
本書共8章:□□章綜述了所采用的基礎(chǔ)衍射積分□換理論;第□章討論了基于單步光刻和KOH濕法刻蝕工藝制作衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)的基本方法;第3章討論了將單步光刻和KOH濕法刻蝕工藝用于發(fā)展微光學(xué)波前結(jié)構(gòu)的基本問題;第4章詳細討論了將所發(fā)展的衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)用于相干激光束的衍射整形與頻譜空間分離等方面的基本問題;第5章主要討論了衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)的工藝制作、測試與性能評估問題;第6章討論了將所發(fā)展的微光學(xué)結(jié)構(gòu)的設(shè)計、制作、測試與評估方法,向太赫茲頻域延伸所涉及的基本問題;第7章主要討論了所發(fā)展的基本方法在特殊的紅外和太赫茲波前結(jié)構(gòu)應(yīng)用方面的關(guān)鍵問題與特征;第8章主要開展了硅基非球面光學(xué)折射結(jié)構(gòu)方面的基礎(chǔ)問題研究。
第一章 光波衍射積分□換的基礎(chǔ)理論與基本方法
1.1 光衍射圖像生成
1.□ 衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)
1.3 設(shè)計實例
1.4 小結(jié)
第□章 衍射微光學(xué)圖像生成與發(fā)射結(jié)構(gòu)
□.1 單步光刻與硅KOH濕法蝕刻
□.□ 可見光圖像發(fā)射效能評估
□.3 小結(jié)
第3章 折射微光學(xué)波前出射結(jié)構(gòu)
3.1 問題與挑戰(zhàn)
3.□ 折射微光學(xué)波前出射結(jié)構(gòu)的工藝制作方法
3.3 可見光譜域光學(xué)性能測試與評估
3.4 小結(jié)
第4章 相干光波的衍射整形與頻譜空間分離
4.1 基礎(chǔ)理論與基本方法
4.□ 常規(guī)近場與遠場衍射積分□換
4.3 衍射結(jié)構(gòu)設(shè)計算法
4.4 基于遠場衍射的頻譜空間分離
4.5 準(zhǔn)連續(xù)相位分布的衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)
4.5.1 光程差算法
4.5.□ GS算法
4.5.3 模擬退火算法
4.5.4 時域有限差分法
4.5.5 基于角譜的串行迭代算法
4.6 衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計
4.7 毫米級近場的衍射積分□換
4.8 小結(jié)
第5章 構(gòu)建衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)執(zhí)行復(fù)雜光束□換
5.1 衍射相位結(jié)構(gòu)
5.□ 硅的各向異性KOH濕法蝕刻
5.3 測試與分析
5.4 具有準(zhǔn)連續(xù)相位分布的衍射微光學(xué)波前結(jié)構(gòu)
5.5 衍射微光學(xué)遠場光束整形
5.5.1 單步電子束曝光
5.5.□ 測試、分析與討論
5.6 適用于毫米級近場光束整形的衍射微光學(xué)結(jié)構(gòu)
5.6.1 關(guān)鍵工藝流程
5.6.□ 特征屬性表征與測試
5.6.3 常規(guī)光學(xué)性能測試與評估
5.7 小結(jié)
第6章 太赫茲圖像的光衍射發(fā)射
6.1 太赫茲波衍射相位結(jié)構(gòu)與光刻版圖
6.□ 硅基太赫茲波衍射相位結(jié)構(gòu)濕法蝕刻
6.3 典型特征評估
6.4 衍射相位結(jié)構(gòu)設(shè)計與實現(xiàn)
6.4.1 KOH濕法蝕刻
6.4.□ 測試、討論與分析
6.5 小結(jié)
……
第7章 紅外與太赫茲波衍射微光學(xué)波前結(jié)構(gòu)
第8章 硅基非球面光學(xué)折射結(jié)構(gòu)
參考文獻