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新型微納傳感器技術(shù)

新型微納傳感器技術(shù)

定  價:128 元

        

  • 作者:趙玉龍、蔣莊德著
  • 出版時間:2022/12/1
  • ISBN:9787122423467
  • 出 版 社:化學工業(yè)出版社
  • 中圖法分類:TP212 
  • 頁碼:
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:
  • 開本:16開
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本書圍繞微納傳感與測試技術(shù)的知識架構(gòu),闡述微納傳感器的基本原理、優(yōu)勢特點與應用。本書主要介紹單晶硅壓阻原理、加速度傳感器、壓力傳感器、諧振傳感器、機床刀具測力和振動傳感器、薄膜測力傳感器、爆轟爆速傳感器、MEMS電熱執(zhí)行器、氣體傳感器等典型微納傳感器的設(shè)計與制造方法。本書可供高等院校傳感器技術(shù)、微機電系統(tǒng)、測控技術(shù)與儀器、自動化工程、機電一體化及儀器儀表等專業(yè)的師生作為教材使用,也可供從事傳感器、MEMS、儀器儀表等相關(guān)專業(yè)的技術(shù)人員學習參考。

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