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微機(jī)電系統(tǒng)工程基礎(chǔ)

 微機(jī)電系統(tǒng)工程基礎(chǔ)

定  價:39 元

        

  • 作者:楊永剛 主編、張力文 董海峰 陳華偉 張德遠(yuǎn) 副主編
  • 出版時間:2023/8/1
  • ISBN:9787512440227
  • 出 版 社:北京航空航天大學(xué)出版社
  • 中圖法分類:TN4 
  • 頁碼:
  • 紙張:膠版紙
  • 版次:
  • 開本:16開
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本書作為微機(jī)電系統(tǒng)工程的入門教材,介紹微機(jī)電系統(tǒng)加工工藝及設(shè)計(jì)基礎(chǔ)。全書共11章:第1章介紹微機(jī)電系統(tǒng)的概念、歷史及發(fā)展趨勢;第2章介紹微納工程材料基礎(chǔ);第3章介紹光刻技術(shù)及其他先進(jìn)圖形化技術(shù);第4章介紹表面微納加工技術(shù),包括熱氧化與摻雜工藝、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積和電鑄技術(shù);第5章介紹微納刻蝕加工技術(shù),包括濕法加工、等離子體刻蝕等;第6章介紹鍵合、封裝工藝及其與集成電路的集成技術(shù);第7章為微納加工工藝綜合,舉例介紹典型結(jié)構(gòu)的微納加工工藝流程;作為微機(jī)電系統(tǒng)的設(shè)計(jì)基礎(chǔ),第8章介紹電子學(xué)與機(jī)械學(xué)的基本概念;第9章講解換能器原理與典型材料結(jié)構(gòu);第10章以壓力傳感器為例介紹MEMS傳感器設(shè)計(jì);第11章簡介微納驅(qū)動器和執(zhí)行器的基本原理與前沿應(yīng)用案例。

本書具有很強(qiáng)的針對性、實(shí)用性和指導(dǎo)性,可以作為高等院校微機(jī)電系統(tǒng)工程專業(yè)的本科生及研究生教材,也可以作為從事微機(jī)電系統(tǒng)、微電子、傳感器技術(shù)等專業(yè)工程技術(shù)人員的參考書。

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