本書講述了改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的制備原理，包括多晶硅原料制備、原料提純、多晶硅制備、尾氣回收、硅芯的制備，以及超純水的制備，氫氣、氯氣的制備和凈化等內(nèi)容。本教材適用于高職高專、中專、技校硅材料技術(shù)專業(yè)的師生閱讀，也可供多晶硅企業(yè)的技術(shù)人員參考。