本書體系嚴密，深入淺出，將基本概念、工藝技術、典型器件和系統(tǒng)應用相結合，使讀者能夠全面地理解和掌握微納制造與微機電系統(tǒng)相關知識。全書共8章，第1章概述MEMS的定義、特點、制造技術、發(fā)展歷程與未來發(fā)展趨勢；第2、3章分別介紹體硅和表面微加工技術的原理、流程、常見問題與解決方法；第4章闡述近年來體硅和表面硅工藝在MEMS

本書內容全面，重點突出，分析透徹，理論聯系實際，可幫助學生厘清思路、掌握重點、突破難點，從而提高分析和解決實際工程控制問題的能力。

本書講述了控制理論的基本原理及其在機械工程自動控制系統(tǒng)中的應用。全書共11章：第1～8章為經典控制理論部分，主要介紹了自動控制的基本概念、控制系統(tǒng)在時域和頻域中數學模型的建立，分析了單輸入單輸出、線性、時不變系統(tǒng)的穩(wěn)定性和穩(wěn)態(tài)誤差，闡述了線性控制系統(tǒng)的時域分析法、頻域分析法、根軌跡法及設計校正方法，每章均有工程實例分析

"陜西國防工業(yè)職業(yè)技術學院機電一體化技術專業(yè)群為中國特色高水平專業(yè)群立項建設單位，多年來持續(xù)改革創(chuàng)新，取得了一系列建設成果，形成了一系列專業(yè)群建設經驗案例，包括專業(yè)群人才培養(yǎng)模式改革、課程資源建設、教材與教法改革、教師教學團隊、實踐基地、技術技能平臺、社會服務、國際交流與合作、可持續(xù)發(fā)展保障機制等方面。 讀者對象：全

本書是在遵循課程教學改革“高階性、創(chuàng)新性、挑戰(zhàn)度”的要求，考慮加強學生綜合設計能力培養(yǎng)，倡導“理實一體、知行合一”的教學理念基礎上編寫的。全書分為上下兩篇，第1篇主要介紹常用基礎知識和設計技術，包括8章內容，涵蓋從機構和結構的設計分析技術、機械制造工藝規(guī)程到電氣控制系統(tǒng)設計的復雜機電系統(tǒng)設計全過程中涉及的相關知識，從設

本書以機電一體化系統(tǒng)的組成為主線，系統(tǒng)介紹了機電一體化系統(tǒng)各主要組成部分及其控制技術和控制策略，并通過實例詳細介紹了機電一體化系統(tǒng)的設計方法。本書在機械系統(tǒng)部件、執(zhí)行器、運動傳感器選擇方面有別于現有機電一體化書籍，如RV減速器、滾動導軌、自動化流水線機構、直線電機、行程和接近開關等都是較新的內容。本書還著重采用三菱PL

本書以典型和熱門的機電控制系統(tǒng)為研究對象，包括倒立擺、并聯運動平臺、輪足式機器人等，圍繞設計過程中的系統(tǒng)分析、控制實現和性能優(yōu)化問題，詳細介紹了該類機電控制系統(tǒng)的綜合建模與仿真技術。本教材從機電控制系統(tǒng)基本組成和工作原理的概念出發(fā)，介紹了建模與仿真的基本理論，詳細介紹了針對機電控制系統(tǒng)當下最流行的建模與仿真軟件：MAT

本書以“新工科建設”需求為導向，設置教材內容，圍繞Matlab/Simulink在控制系統(tǒng)中的應用、機電控制系統(tǒng)的建模與性能分析、控制算法的計算機輔助設計與分析等內容進行編寫，從基本的軟件工具的使用，建模與控制方法的分析與應用，再到實際案例的講解與實踐，內容全面，重點突出。其中，前三章主要是對以MATLAB為主的仿真工

本書是根據工程教育認證理念，遵循培養(yǎng)學生應用實踐能力，根據作者多年的教學經驗及近幾年來教學改革成果編寫而成的。 本書在內容上注意突出應用型特色，并兼顧機械行業(yè)發(fā)展的趨勢。全書共8章，主要內容有：材料力學實驗、機械原理實驗、機械設計實驗、互換性與技術測量實驗、工程材料與成型技術實驗、機械制造技術基礎實驗、液壓與流體傳動

本書主要介紹經典控制理論的基本內容，涉及控制系統(tǒng)的基本原理、分析方法、設計校正及應用實例等。本書共分5章，主要內容包括反饋控制的基本概念、控制系統(tǒng)的數學模型、控制系統(tǒng)時間響應、穩(wěn)定性、穩(wěn)態(tài)誤差分析、頻率特性分析、系統(tǒng)的綜合與校正。本書旨在培養(yǎng)學生分析和解決復雜工程問題的能力，在理論分析的基礎上，結合機械行業(yè)的工程實際，