本書(shū)圍繞MEMS陀螺儀和MEMS加速度計(jì)的典型結(jié)構(gòu)、誤差機(jī)理、關(guān)鍵技術(shù)、制造工藝和測(cè)試技術(shù)等問(wèn)題，由基本原理和公式推導(dǎo)出發(fā)，緊密結(jié)合工程實(shí)際，系統(tǒng)深入地對(duì)高性能MEMS慣性儀表技術(shù)進(jìn)行了闡述。本書(shū)共7章，第1章概述；第2章介紹了MEMS陀螺儀典型結(jié)構(gòu)及誤差機(jī)理；第3章介紹了高性能MEMS陀螺儀關(guān)鍵技術(shù)；第4章介紹了高性能MEMS加速度計(jì)典型結(jié)構(gòu)及誤差機(jī)理；第5章介紹了高性能MEMS加速度計(jì)關(guān)鍵技術(shù)；第6章介紹了高性能MEMS慣性器件工藝技術(shù)；第7章介紹了高性能MEMS慣性器件測(cè)試技術(shù)。